山东首条12英寸集成电路用大硅片生产线通线

新华财经济南10月16日电（记者贾云鹏）10月16日上午，山东有研艾斯半导体材料有限公司12英寸集成电路用大硅片产业化项目通线仪式在德州天衢新区举行。该项目一期投资25亿元，达产后可实现12英寸抛光片月产10万片，是中国有研科技集团布局的重点项目，也是山东省内第一条12英寸集成电路用大硅片生产线。

据了解，12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，单片可产出的芯片数量增加，经济效益明显。随着集成电路制程和工艺的发展，硅片趋向大尺寸化和制程精细化，12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。

山东有研艾斯半导体材料有限公司总经理闫志瑞介绍，12英寸硅片技术参数要求比8英寸更高，各工艺环节需要长期积累，其中单晶工艺是最为核心的技术，其决定了硅片尺寸、电阻率、纯度、氧含量、位错、晶体缺陷，山东有研艾斯攻克了单晶微缺陷、硅片几何尺寸、硅片表面沾污等关键技术指标，已在多家国内外知名集成电路制造企业开展产品验证。

目前，德州天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”，打造了占地800余亩、总投资93.4亿元的中国集成电路关键材料（德州）基地，包括8英寸、12英寸硅片，高纯溅射靶材，刻蚀设备用硅材料等项目。全部达产后将形成年产6英寸硅片180万片、8英寸硅片276万片、12英寸硅片360万片、12—18英寸硅单晶504吨、高纯溅射靶材4.3万块、高纯贵金属213吨的生产能力，成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地。

编辑：罗浩

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